ウェーハ検査装置メーカー・取扱会社を比較！工程別に選べるおすすめ企業

KLA Corporationは、半導体製造向けの検査・計測・プロセス制御装置を幅広く提供しています。パターン付きウェーハと未パターンウェーハの欠陥検査、欠陥レビュー、製造ラインのモニタリングまでを対象にできる点が特徴です。

製品の特徴：光学検査と電子線レビューを組み合わせ、粒子、パターン欠陥、表面・裏面・エッジ側の欠陥を検出・分類しやすい構成です。先端ロジックやメモリ向けでは、DUV光源、低ノイズセンサー、アルゴリズムを活用した高感度検査を行い、歩留まり立ち上げやインライン監視に使われます。

先端パッケージ向けにも、ウェーハ検査・計測の製品カテゴリを持っています。前工程の微細欠陥、先端パッケージのマクロ欠陥、欠陥レビュー、解析ソフトウェアを含めて検討したい大規模ファブや研究開発部門に向いています。

株式会社日立ハイテクは、半導体製造装置の検査ソリューションとして、ウェーハ表面検査装置LSシリーズや暗視野ウェーハ欠陥検査装置DIシリーズを提供しています。LSシリーズは未パターンウェーハ、DIシリーズはパターン付きウェーハの欠陥検出で比較されます。

製品の特徴：DIシリーズは暗視野方式で、製造工程中のパターンサンプルに発生する欠陥の検出・管理を目的にした装置です。DI4600は高い検出感度と検査スループットを重視したモデルで、LSシリーズは次世代デバイス向けの未パターンウェーハ上の微小欠陥検出に対応します。

入荷ウェーハの品質確認、プロセス装置の清浄度管理、材料・プロセス評価、量産工程の欠陥モニタリングを一体で見たい場合に候補になります。欠陥位置座標を取得し、工程改善や歩留まり改善に活かす運用を考えやすいメーカーです。

レーザーテック株式会社は、半導体関連装置の中でウェーハ関連システムを複数提供しています。SiC、GaN、下層欠陥、マルチ波長検査、ウェーハエッジ検査、TSV・Via深さ測定など、対象材料や工程に合わせた専用装置を揃えています。

製品の特徴：SiC Wafer Inspection and Review SystemやGaN Wafer Inspection and Review Systemは、化合物半導体ウェーハの検査・レビュー用途に向いた装置です。CIRIUS Seriesは下層欠陥、LX Seriesはマルチ波長検査、CIEL Seriesはウェーハエッジの高感度検査を担い、欠陥モードごとに装置を切り分けやすいラインアップになっています。

SiCやGaNなどの化合物半導体、ウェーハエッジ・ベベル、下層欠陥、膜厚やエッチング状態のモニタリングを重視する場合に候補になります。対象ウェーハと欠陥モードを切り分け、専用性の高い検査装置を検討したい企業に向いています。

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズは、ZI-3600やZI-2000などのパターン付きウェーハ外観検査装置を提供しています。ZI-3600は、複数解像度のレンズを備えたウェーハパターン検査システムで、微細欠陥の検出と生産性を両立したい工程で比較されます。

製品の特徴：ZI-3600は分解能の異なる3種類のレンズを搭載し、微細欠陥からマクロ欠陥までを1台で検査できる構成です。ラインセンサによる全面検査方式、高速画像処理エンジン、レンズ自動切り替えにより、パターン付きウェーハの高分解能検査と処理能力の両立を狙えます。

パワーデバイス、CIS、MEMSなど、パターン付きウェーハの外観検査を高解像度かつ生産性を意識して進めたい場合に候補になります。オプションでクリティカルディメンション測定やオーバーレイ測定にも対応できるため、検査と計測を組み合わせた工程管理を検討できます。

Onto Innovation Inc.は、半導体製造向けの検査、計測、リソグラフィ、ソフトウェアを提供しています。未パターンウェーハ、パターン付きウェーハ、パネル、積層ダイパッケージまで対象にした自動検査とデータ解析を強みとする企業です。

製品の特徴：Dragonfly G5はインラインのパターン検査向けで、サブミクロン欠陥検出と高分解能3Dメトロロジーに対応します。PrimaScanは未パターンウェーハやブランケット膜の全表面欠陥・汚染検査を担い、NovusEdgeはエッジ、ノッチ、裏面の検査、Fireflyは先端IC基板やパネルレベルパッケージの欠陥検査と3D計測に対応します。

ウェーハメーカー側の出荷・品質管理、チップメーカー側の量産工程、先端パッケージ工程をまたいで検査装置を検討したい場合に候補になります。検査データを工程改善に活かしたい企業に向いています。

Applied Materials, Inc.は、半導体製造装置を幅広く提供するメーカーです。HawkEye光学検査システムは、パターン付きウェーハの暗視野欠陥検査に使われる装置で、工程中の欠陥検出を自動化したい場合に候補になります。

製品の特徴：HawkEyeは、エッチング、CMP、成膜、リソグラフィ、イオン注入などの工程後に、粒子、パターン欠陥、スクラッチ、ハンプを検査します。DUVレーザー光源を用いた暗視野検査により、高感度と高スループットを両立し、FEOL、MOL、BEOLのパターン付き表面欠陥をモニタリングしやすい構成です。

工程内で検査ポイントを増やし、欠陥発生の早期把握を進めたい企業に向いています。Brightfield検査とDarkfield検査を組み合わせた検査戦略を考える場合にも比較候補になります。

Nikon Precision Inc.は、半導体露光装置に加え、半導体検査システムも提供しています。光学設計・製造の知見を活かし、ポストデベロップやポストエッチ工程の検査要求に対応する装置を展開しています。

製品の特徴：OPTISTATION-3000 Seriesは、マイクロ検査とマクロ検査の両方に対応する検査システムです。Automatic Macro Inspection Systemsはウェーハ全面を高スループットで検査する用途に向き、Illumination Systemsは画像センサー検査向けに大きな検査視野へ高出力で均一な照明を届ける構成です。

ポストデベロップやポストエッチの外観確認、ウェーハ全面のマクロ検査、ミクロ検査、照明条件を重視する場合に候補になります。露光装置メーカーとしての光学技術も含めて検査環境を検討したい企業に向いています。

タカノ株式会社は、画像処理検査・計測分野でウェーハ表面検査装置WMシリーズやウェーハ外観検査装置を提供しています。WMシリーズは、未パターンウェーハ表面のパーティクル検出を想定した装置で、受入検査や工程内検査で比較されます。

製品の特徴：WMシリーズはレーザーダイオード光源、2軸入射角、広NAレンズを用いた高感度検査を特徴とします。スパイラルスキャン方式でウェーハ表面を検査し、取得したXY位置データをEBレビュー装置へ渡してレビューしやすくする運用にも対応します。

300mmウェーハ向けのWM-10R、200mm以下向けのWM-7シリーズがあり、ベアウェーハやフィルム付きウェーハの工程管理、受入・出荷検査、プロセス管理で候補になります。国内メーカーで未パターンウェーハ表面検査を検討したい企業に向いています。

Semilab Semiconductor Physics Laboratory Co. Ltd.は、半導体ウェーハメーカーや太陽電池、ディスプレイ業界向けのメトロロジーソリューションを提供しています。表面汚染・チッピング検査、ウェーハ形状検査、マイクロクラック検査など、ウェーハ材料評価に関わる装置群を扱います。

製品の特徴：WSIモジュールは画像取得と画像処理により、汚染、チッピング、エッジ欠陥、粒状欠陥を検査します。拡散照明で汚れやシミを検出し、集光照明でチッピングやエッジ欠陥、粒状領域を捉える構成です。ラインカメラによる搬送中検査や、サイズ基準による欠陥選別にも対応します。

単純な外観検査だけでなく、ウェーハの形状、汚染、チッピング、エッジ欠陥を組み合わせて評価したい場合に候補になります。ウェーハソーティングや材料受入・出荷管理を重視する企業に向いています。

Tokyo Electron Device America, Inc.は、オンサイト向けのInspectionカテゴリで、ウェーハレベル検査やSiCウェーハ評価に関わるソリューションを扱っています。Si、SiC、LT/LN、ガラス、パターン付きウェーハなど、対象材料別に検査装置を比較できます。

製品の特徴：ITS-SCX100は、SiCウェーハに紫外線を照射してバイポーラ劣化を加速・模擬し、潜在欠陥をウェーハレベルで可視化する装置です。Si wafer defect inspectionは光学技術でベアウェーハとパターン付きウェーハの欠陥を高速・高感度に検査し、従来の目視検査を自動化する用途に向きます。

メーカーではなく取扱会社・ソリューション提供の位置づけですが、SiCウェーハ、レガシーノード、LT/LNウェーハ、ガラスウェーハなど、対象材料ごとに検査装置候補を探したい企業に向いています。

Nova Ltd.は、半導体製造向けの材料・寸法・化学メトロロジーとプロセス制御ソリューションを提供しています。欠陥検査装置そのものというより、工程内の膜厚、寸法、材料特性、化学分析を組み合わせて製造条件を管理する関連候補です。

製品の特徴：寸法メトロロジーでは、光学CDや薄膜測定向けの統合・スタンドアロン測定プラットフォームを提供します。材料メトロロジーでは高感度なインライン工程管理に対応し、化学メトロロジーでは電解めっき工程などの化学分析と補充管理をリアルタイムに支援します。AI対応ソフトウェア、モデリング、機械学習を組み合わせて工程データを活用できる点も特徴です。

ウェーハ検査装置の候補を検討する際、欠陥検査だけでなくメトロロジーによる工程管理まで含める場合の関連候補になります。量産工程の歩留まり改善や、先端プロセスのばらつき把握を重視する企業に向いています。