表面欠陥検査装置メーカーを徹底比較！検査対象別に選べるおすすめ企業

ナガセテクノエンジニアリング株式会社は、表面欠陥検査装置「SCANTEC」シリーズを展開しています。WEBと呼ばれる連続物のフィルム、紙、鋼板、金属箔に加え、カットフィルムやカットガラス、ドラムなどのBATCH品にも対応する構成を持っています。

高速画像処理、欠陥分類、画像強調、シェーディング補正などを組み合わせ、キズ、ムラ、スジ、異物といった欠陥の早期発見を支援します。横浜本社や西条テクノセンターではサンプルテストや光学条件の設計も行っており、導入前に検出可否を検証したい企業に向いています。

アヤハエンジニアリング株式会社は、フィルム検査、シート検査、ウェブ検査、不織布検査、電極シート検査、銅板検査、鋼板検査、金属箔検査まで、製品サイズや加工ライン、検出欠陥に合わせた欠陥検査装置を提案しています。

AIRIS ACEシリーズ、FITSシリーズ、CONTACT ACEシリーズなど、インライン・オフライン用途に応じた製品群を持ち、ロールサンプルテストや欠陥分類にも対応します。高搬送ラインでの検査、欠陥画像の高速取り込み、検査後のマーキングまで組み合わせたい場合に比較候補になります。

株式会社ヒューテックは、無地面検査装置、印刷面検査装置、枚葉シート検査装置、厚さ計などを展開する検査装置メーカーです。無地面検査装置では、原反フィルム、高機能フィルム、紙、不織布、金属箔などを対象に、微細欠点検出や欠点弁別を支援します。

ラインセンサーカメラとLED照明などの光学系を使い、透過方式、乱反射方式など、欠点の性質に合わせた検出条件を設計します。欠点をランク判定し、警報や外部出力につなげられるため、検査データを品質管理や工程改善に活かしたい企業に向いています。

フロンティアシステム株式会社は、無地表面欠陥検査システムを中心に、フィルム、シート、不織布、紙、建材、ガラス、金属などの検査に対応しています。ラインセンサカメラ、LEDライン照明、画像処理装置を組み合わせ、現場ごとの検査課題に合わせたシステムを提案します。

不織布、紙、樹脂シート、合板などの検査事例もあり、異物混入、汚れ、シワ、ムラ、キズ、穴あきなどの欠陥検出を想定できます。既存ラインのスペース、ワーク幅、搬送速度、保存したい検査データに合わせて相談したい企業に適しています。

パシフィックシステム株式会社は、シート・フィルム表面欠陥検査装置を提供しています。各種フィルム、シート、ガラス繊維、紙、樹脂などを対象に、微細な欠陥からコントラストの低いムラまで検出できる構成を提案します。

検出仕様に適した光学機器を提案し、導入後に検査対象物が大きくなった場合もカスタム対応できる点が特徴です。量産ラインで検査対象や検出仕様が変化しやすい企業、初期導入後の拡張性も見たい企業に向いています。

オムロン株式会社は、シートやフィルムの表面検査に対応する検査装置・画像処理技術を展開しています。紙、フィルム、金属、ガラス、不織布などを対象に、ムラ、スジ、シワ、淡色欠陥、ピンホール、フィッシュアイ、虫欠陥などの判別を支援します。

多波長検査技術やAIを活用した欠陥分類、導入後の定期点検・修理・障害対応サービスまで視野に入れられるため、装置導入だけでなく検査能力の維持まで考えたい企業に向いています。二次電池や高機能フィルムなど、表面欠陥と内部異物の判別が重要なラインでも比較候補になります。

株式会社東芝は、画像検査ソリューションとしてウェブ外観検査装置、枚葉シート外観検査、PTP外観検査などを展開しています。東芝デジタルソリューションズは2026年4月に株式会社東芝へ統合されているため、検討時は東芝のデジタル事業として公開情報を確認する形になります。

ウェブ外観検査装置では、フィルム、非鉄金属、紙、不織布などのウェブ製品検査に対応します。カラーラインセンサーカメラにより、モノクロでは検出が難しい淡色欠陥や油じみの検出、RGBごとの欠陥分類を行えるため、色に依存する欠陥の判別を重視するラインに向いています。

タカノ株式会社は、画像処理検査・計測分野で、ウェーハ表面検査装置、ウェーハ外観検査装置、フィルム外観検査装置などを展開しています。ウェーハ表面検査装置では、半導体デバイスの製造、材料開発、装置管理に必要な微細パーティクル検出を支援します。

ウェーハの配線パターン、クラック、異物混入の検査や、フィルム市場向けの高速・高精度検査にも対応します。半導体、光学フィルム、電池部材のように微細欠陥の検出感度と安定運用が求められるラインに適しています。

株式会社日立ハイテクは、半導体製造向けの検査・計測装置を展開しており、ウェーハ表面検査装置LSシリーズでは、パターンなしシリコンウェーハ上の微小異物や欠陥を検査します。

レーザー散乱応用技術を用い、シャロースクラッチ、ウォーターマーク、スタッキングフォールト、研磨起因の突起欠陥、成膜起因の平坦欠陥など、半導体製造工程で問題になる欠陥の検出に対応します。ウェーハ出荷・受け入れ品質検査や、前工程の微小欠陥モニタリングに向いています。

株式会社デクシスは、外観検査装置・表面検査装置の構想、開発、製造まで対応するメーカーです。自社開発の画像処理装置や特許技術を持ち、汎用装置だけでは対応しにくい形状・欠陥・搬送条件の検査にも対応します。

医療資材、ボトル、キャップ、ギア、チューブ、半導体関連など、立体物や複数面の検査が必要な用途で比較しやすい会社です。天面、側面、底面、中足部などの死角を減らした検査構成や、液中異物、粉末異物といった特殊検査も検討できます。

ヴィスコ・テクノロジーズ株式会社は、画像処理検査装置・外観検査装置を提供するメーカーです。画像処理アルゴリズム、光学技術、電気・機械の知識を組み合わせ、検査対象ごとの撮像条件や判定ロジックを設計します。

DefFinderでは、良品のばらつきを考慮しながらキズ、汚れ、異物などを検出します。CrackFinderでは、濃淡差が出にくいクラック状の傷にも対応します。検査装置だけでなく、光学系や画像処理のチューニングまで相談したい企業に向いています。

ダックエンジニアリング株式会社は、画像処理技術を用いた品質検査装置を開発・製造しています。枚葉・紙器、段ボール、シール・ラベル、グラビア印刷など、印刷・包装関連の検査装置に強みがあります。

文字欠け、印刷汚れ、色ずれ、版抜け、ドクター筋など、印刷物特有の不良を全面・全数で検査する用途に向いています。欠陥データ管理・閲覧システムと組み合わせれば、欠陥画像の検索、欠陥マップ、データ出力などを品質管理に活かしやすくなります。

メディケン株式会社は、フィルム・シート表面欠陥検査・測定装置「EasyInspect」を提供しています。高機能フィルム、各種シート、不織布、メッシュ、セパレーター、電極など幅広いアプリケーションに対応します。

表面欠陥検査に加え、膜質の分布測定を組み合わせられる点が特徴です。複数の光学チャンネルを使ったMIDA技術により欠陥分類を支援し、周期性欠陥やスジ状欠陥の検出にも対応します。二次電池材料や高機能フィルムの量産ラインで、検査と測定を同時に進めたい企業に向いています。

AMETEK Surface Visionは、連続で生産されるシート素材を検査・モニタリングするオンライン表面検査ソリューションを提供しています。金属、紙パルプ、フィルム、不織布、ガラス、バッテリー材料など、幅広い産業向けに展開しています。

SmartViewによるリアルタイム欠陥検出、SmartAdvisorによる工程監視・解析など、欠陥の検出だけでなく原因解析や後工程での処置まで見据えた運用が可能です。国内外の生産拠点で検査条件を標準化したい企業や、工程監視まで含めたい企業に向いています。

株式会社キーエンスは、画像処理システム、ラインスキャンカメラ、ビジョンシステムなどを展開しています。表面欠陥検査専用メーカーとしてだけでなく、装置メーカーや自社設備に組み込む画像処理機器の候補として比較されます。

ラインスキャンカメラでは、エリアカメラでは検出しにくい細かな傷、凹み、汚れなどの検査に対応します。LumiTrax機能などを使えば、印刷や模様の影響を抑えながら傷や打痕を抽出しやすくなります。自社で設備設計できる体制がある企業や、既存ラインへ画像処理機器を組み込みたい企業に向いています。

株式会社中央電機計器製作所は、微細欠陥検査装置を提供しています。高解像度カメラと高精度XYステージを使い、光学フィルム、シート、タッチパネル、プリント基板などの表面キズ、異物、欠陥検査に対応します。

光学分解能1.8μmの高精細検査に対応し、検査データと画像を自動保存できます。大型ワーク表面の欠陥検査装置も展開しており、金属板などの凹み、ふくらみ、変色を自動検査したい場合にも候補になります。

池上通信機株式会社は、シート表面検査装置PIE-650を提供しています。高速ラインセンサカメラに対応し、連続して走行するシート状のフィルム、金属箔、鋼板、紙、不織布、ガラス、樹脂などの欠陥検出に対応します。

小規模システムから大規模システムまで検査ニーズに応じた構成を取りやすく、検査ソフトも要望に応じてカスタムできます。ライン速度が速いシート材や、濃淡差の小さい欠陥を高精細に検出したい企業に向いています。

株式会社ジャステムは、半導体関連の検査装置を展開しています。外観検査装置、エッジ検査ハンドリング装置、ガラス欠陥検査装置、ウェーハ表面検査機、ウェーハインスペクション装置などを扱っています。

ウェーハ表面検査機VSI-01型、外観検査装置ACI-02型など、半導体関連ワークの検査に対応する製品群を持ちます。シリコンウェーハ、ガラス、マスクなどの特殊検査や、研究開発段階のワークを装置化したい企業に向いています。

山下電装株式会社は、魔鏡の原理を応用した表面欠陥検査装置を提供しています。鏡面平面基板の表面状態を高感度に検査する装置で、シリコンウェーハやガラス基板などの検査に対応します。

検査は非接触・非破壊で行え、光学系はメンテナンスフリーとされています。表面欠陥の自動判定画像処理、自動搬送機構、イメージ記憶、イメージプリントなどをオプションで追加できるため、鏡面基板の微細な凹凸や研磨ムラを見たい企業に向いています。

シリウスビジョン株式会社は、画像検査機、画像検査ソフトウェア、画像検査関連製品を展開しています。印刷品質検査の知見を活かし、電子基板、銘板、枚葉シート、シールラベル、カード、成形品の表面印刷などに対応します。

卓上品質検査機S-Cometでは、対象物を手で置くだけで検査でき、検査結果や画像保存にも対応します。ライン全体の大規模なシート表面検査だけでなく、多品種少量の小型ワークや印刷品質検査を自動化したい企業に向いています。