チラー装置メーカー15選!産業用・精密・大型機を比較

公開日:2026年07月13日

チラー装置は、一定温度に調整した水や不凍液などを循環させ、装置・ワーク・プロセスから熱を取り除く温調設備です。

メーカーを比較するときは、小型・精密、半導体向け、研究用、設備用を分け、冷却能力、温度安定性、循環液、流量・揚程、空冷・水冷、保守条件を確認することが重要です。

目次

チラー装置メーカー15社の比較表

主なタイプ・用途、温調・冷却の特徴、向いている導入目的で比較しています。温度範囲、冷却能力、流量、使用流体はシリーズと使用条件で変わるため、各社へ確認してください。

会社名 サービスの特徴 主なタイプ・用途 温調・冷却の特徴 向いている導入目的

オリオン機械

小型水槽付から設備用・レーザー用まで幅広いチラーを展開

産業機械、レーザー、医療・理化学、食品、セントラル設備
水槽内蔵・水槽なし、空冷・水冷、ブライン、薬液、2チャンネル製品
装置付帯用から工場設備用まで同じメーカーで選定したい場合

SMC

装置組み込みや工場設備に合わせて選べるサーモチラーを展開

工作機械、レーザー、分析・医療、半導体、食品、一般産業機械
空冷・水冷冷凍式、ラックマウント、高機能・ベーシック各シリーズ
FA機器と合わせて標準チラーを選定し、装置へ組み込みたい場合

アピステ

ノンフロン・精密・ワイドレンジの産業用チラーを展開

産業機械、半導体・FPD、医療、理化学、食品、モーター
ノンフロン、高応答、高精度、加温対応、ポンプ・タンクレス製品
負荷変動への追従や精密温調、導入前テストを重視する場合

ステップサイエンス

半導体・医療向けを中心にチラーを設計製造し保守まで対応

半導体製造装置、医療機器、研究・分析、真空・クリーン設備
少量多品種、冷水・恒温水、高精度、カスタム設計、納入履歴管理
標準機では満たせない温度・流体・設置条件で個別設計したい場合

伸和コントロールズ

半導体・FPD製造装置向けの精密温度調節装置を開発

半導体・FPD製造装置、薬液・純水、低温・精密温調
装置用チラー、精密空調、流体制御、修理・トレーニング
半導体プロセスで装置仕様に合わせた温調系を構成したい場合

荏原製作所

半導体製造装置向けの精密チラーを展開

半導体製造装置、純水・グリコール循環、精密温調
低GWP・自然冷媒製品、精密制御、省スペース、海外安全規格対応製品
半導体装置の温度安定性と環境規制対応を両立したい場合

前川製作所

食品・飲料・化学プロセス向けの産業用ノンフロンチラーを展開

食品・飲料工場、化学プロセス、冷水・ブライン、工場熱源設備
高効率ノンフロン、自然冷媒、部分負荷制御、全国サービス拠点
工場プロセスへ大容量冷水を供給し、保守まで一括相談したい場合

レクザム

高精度チラーと薬液温調ユニットを装置向けに展開

半導体・電子デバイス、薬液、各種生産・検査装置
高精度チラーユニット、薬液温調、温湿度調整、カスタム対応
装置内の液体温調と局所温湿度管理を合わせて検討する場合

エスペックサーマルテックシステム

極低温・精密温調・省スペースなどのカスタムチラーに対応

検査装置、生産装置、半導体・電子、各種液体温調
カスタム設計、極低温、精密温調、複数ライン、保守性への配慮
標準仕様にない温度帯・流体・複数回路のチラーを開発したい場合

東京理化器械(EYELA)

研究・分析向けの冷却水循環装置を用途別に展開

研究室、分析装置、エバポレーター、半導体関連の小型温調
クールエース、低温・恒温循環、ノンフロン、小型製品
研究室や小型分析装置で循環冷却・恒温水を供給したい場合

ヤマト科学

研究・生産向けの恒温水循環装置と精密チラーを展開

研究、分析、半導体・電子、装置冷却、外部密閉循環
クールニクス、ペルチェ、インバーター、低温・恒温循環
研究設備から小規模生産装置まで温度条件に合わせて選びたい場合

JULABO Japan

研究開発から産業プロセスまで循環冷却・温調装置を展開

研究・分析、化学、医薬、材料、産業プロセス温調
循環冷却、加熱・冷却サーキュレーター、広い温度帯、プロセス用製品
低温から加温まで研究・プロセス装置の温調を行いたい場合

Thermo Fisher Scientific

ラボから製造プロセスまで冷却水循環装置を展開

生命科学、分析、研究室、装置冷却、製造プロセス
ThermoFlex、Merlin、循環冷却、構成オプション、通信機能
分析・研究装置向けにグローバル製品からチラーを選びたい場合

ダイキン工業

セントラル空調と産業プロセス向けの大型チラーを展開

工場、データセンター、大型施設、半導体・医療・印刷プロセス
空冷・水冷、モジュール、ブライン、大容量、複数台制御
工場全体や大型設備へ冷水を供給し、冗長構成を組みたい場合

三菱電機

空冷・水冷モジュールと産業用チリングユニットを展開

セントラル空調、工場、産業プロセス、ブライン冷却
空冷・水冷モジュール、産業用チリング、ファンコイル、ブライン
建物空調と工場プロセス冷却を設備全体で計画する場合

チラー装置メーカー15社の詳細

オリオン機械

小型水槽付から設備用・レーザー用まで幅広いチラーを展開

オリオン機械は、産業機械、レーザー、医療・理化学、食品などに向けたチラーを展開しています。小型水槽付チラー、水槽なしのチラーユニット、ブラインチラー、薬液温度調節器、設備用セントラル製品などを扱っています。ファイバーレーザー向けには発振器と光学系へ異なる温度で供給する2チャンネル製品もあり、用途と規模に応じて選びたい企業向けです。

オリオン機械の会社概要

会社名オリオン機械株式会社
主な対応領域産業機械、レーザー、医療・理化学、食品、セントラル設備
公式URLhttps://www.orionkikai.co.jp/product/chiller/

SMC

装置組み込みや工場設備に合わせて選べるサーモチラーを展開

SMCは、循環液温調装置としてサーモチラーを展開しています。空冷・水冷冷凍式、ラックマウント、ベーシック、高機能などの製品群があり、清水、純水、エチレングリコール水溶液に対応するシリーズを案内しています。空気圧・流体制御機器と合わせて、装置付帯用の標準チラーを選定したい企業の候補です。

SMCの会社概要

会社名SMC株式会社
主な対応領域工作機械、レーザー、分析・医療、半導体、食品、一般産業機械
公式URLhttps://www.smcworld.com/products/pickup/ja-jp/temperature_controller/chiller.html

アピステ

ノンフロン・精密・ワイドレンジの産業用チラーを展開

アピステは、製造現場向けのPCUシリーズを展開しています。ノンフロン、高応答、ワイドレンジ・高精度、ポンプ・タンクレスなど、用途別のチラーを扱っています。冷却対象の発熱量、循環水温度、空冷・水冷、ポンプ能力から機種を選定でき、テスト機で導入前に確認したい企業にも向いています。

アピステの会社概要

会社名株式会社アピステ
主な対応領域産業機械、半導体・FPD、医療、理化学、食品、モーター
公式URLhttps://www.apiste.co.jp/pcu/concept_vsc.html

ステップサイエンス

半導体・医療向けを中心にチラーを設計製造し保守まで対応

ステップサイエンスは、チラーの開発・設計・販売から納入、アフターサービスまで対応する会社です。半導体製造装置、医療機器、研究設備向けに、冷水・恒温水装置を少量多品種で提供しています。納入履歴、立ち上げ調整、定期点検の管理も案内しており、標準チラーでは対応しにくい仕様を長期運用したい企業向けです。

ステップサイエンスの会社概要

会社名ステップサイエンス株式会社
主な対応領域半導体製造装置、医療機器、研究・分析、真空・クリーン設備
公式URLhttps://www.step-science.co.jp/

伸和コントロールズ

半導体・FPD製造装置向けの精密温度調節装置を開発

伸和コントロールズは、半導体製造装置向け温度調節装置を開発・製造する会社です。チラー、精密空調、流体制御機器を扱い、半導体・FPDの製造プロセスに合わせた温調を支援しています。装置の使用流体、温度帯、設置地域の規格、修理・教育まで含めて相談したい装置メーカーの候補です。

伸和コントロールズの会社概要

会社名伸和コントロールズ株式会社
主な対応領域半導体・FPD製造装置、薬液・純水、低温・精密温調
公式URLhttps://www.shinwa-cont.com/company/c_index.html

荏原製作所

半導体製造装置向けの精密チラーを展開

荏原製作所は、半導体製造装置向けの精密チラーを展開しています。低GWP冷媒を採用するRJ-XA型や、自然冷媒を用いる製品などを案内しています。純水やエチレングリコールなどの循環、精密な温度制御、省スペース、海外規格への対応を重視する半導体装置メーカー向けです。

荏原製作所の会社概要

会社名株式会社荏原製作所
主な対応領域半導体製造装置、純水・グリコール循環、精密温調
公式URLhttps://ebara.com/jp-ja/building-industry/chiller/

前川製作所

食品・飲料・化学プロセス向けの産業用ノンフロンチラーを展開

前川製作所は、産業用冷凍機、ヒートポンプ、冷却システムを開発・製造する会社です。食品・飲料工場や化学プロセス向けに、高効率ノンフロンチラー、自然冷媒を使う冷水・ブライン設備などを展開しています。工場の熱源設備として大容量の冷水を供給し、設計、施工、試運転、保守まで一括して相談したい企業向けです。

前川製作所の会社概要

会社名株式会社前川製作所
主な対応領域食品・飲料工場、化学プロセス、冷水・ブライン、工場熱源設備
公式URLhttps://www.mayekawa.co.jp/ja/products/detail/refrigeration/18/index.html

レクザム

高精度チラーと薬液温調ユニットを装置向けに展開

レクザムは、熱源・温湿度調整機として、高精度チラーユニットや薬液温調ユニットを展開しています。半導体・電子デバイス関連を含む装置向けに、温度帯や接液材、設置条件に応じた製品を提供しています。循環液の精密温調だけでなく、装置周辺の温湿度管理も合わせて検討したい企業の候補です。

レクザムの会社概要

会社名株式会社レクザム
主な対応領域半導体・電子デバイス、薬液、各種生産・検査装置
公式URLhttps://www.rexxam.co.jp/products/heat/

エスペックサーマルテックシステム

極低温・精密温調・省スペースなどのカスタムチラーに対応

エスペックサーマルテックシステムは、検査装置や生産装置へ組み込む液体温調装置を提供しています。極低温、精密温調、省スペース、使用液への対応など、用途に合わせたカスタムチラーを案内しています。標準品では対応できない温度帯や接液仕様、複数ラインを持つ温調装置を設計したい企業向けです。

エスペックサーマルテックシステムの会社概要

会社名エスペックサーマルテックシステム株式会社
主な対応領域検査装置、生産装置、半導体・電子、各種液体温調
公式URLhttps://www.espec-tts.co.jp/product/circulator/

東京理化器械(EYELA)

研究・分析向けの冷却水循環装置を用途別に展開

東京理化器械は、EYELAブランドで研究・分析向けの冷却水循環装置を展開しています。クールエースをはじめ、小型、低温、恒温、ノンフロンなど使用条件に応じた製品群があります。エバポレーターや分析装置への冷却水供給、研究室での小規模な循環温調を行いたい場合に向いています。

東京理化器械(EYELA)の会社概要

会社名東京理化器械株式会社
主な対応領域研究室、分析装置、エバポレーター、半導体関連の小型温調
公式URLhttps://ssl.eyela.co.jp/chiller/

ヤマト科学

研究・生産向けの恒温水循環装置と精密チラーを展開

ヤマト科学は、恒温水循環装置としてクールニクスサーキュレーター、ペルチェチラー、インバーターチラーなどを展開しています。外部密閉循環や低温・恒温用途に合わせた製品があり、研究設備から装置冷却まで対応しています。設定温度、冷却能力、外部循環方式、設置スペースを比較して研究・小規模生産設備へ導入したい企業向けです。

ヤマト科学の会社概要

会社名ヤマト科学株式会社
主な対応領域研究、分析、半導体・電子、装置冷却、外部密閉循環
公式URLhttps://www.yamato-net.co.jp/product/category/science/water-circulator/

JULABO Japan

研究開発から産業プロセスまで循環冷却・温調装置を展開

JULABO Japanは、研究開発と産業プロセス向けの温度制御機器を提供しています。循環冷却装置、加熱・冷却サーキュレーター、プロセス用温調システムなどを扱っています。研究室での低温循環から、化学・材料・製造プロセスの加熱冷却まで幅広い温度条件を検討する場合に比較できます。

JULABO Japanの会社概要

会社名JULABO Japan株式会社
主な対応領域研究・分析、化学、医薬、材料、産業プロセス温調
公式URLhttps://julabo-japan.co.jp/products/julabo/cooler/

Thermo Fisher Scientific

ラボから製造プロセスまで冷却水循環装置を展開

Thermo Fisher Scientificは、ラボ用から製造プロセス向けまで温調制御製品を展開しています。ThermoFlexやMerlinなどの冷却水循環装置に加え、冷却・加温バスサーキュレーターを扱っています。分析装置や研究設備で、ポンプ、通信、流量監視などの構成オプションを選びたい場合の候補です。

Thermo Fisher Scientificの会社概要

会社名サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社
主な対応領域生命科学、分析、研究室、装置冷却、製造プロセス
公式URLhttps://www.thermofisher.com/jp/ja/home/life-science/lab-equipment/water-baths-circulators-chillers.html

ダイキン工業

セントラル空調と産業プロセス向けの大型チラーを展開

ダイキン工業は、セントラル空調と産業プロセス向けのチラーを展開しています。空冷・水冷、モジュール型、ブライン対応などの製品があり、複数台連携やバックアップ運転を含むシステムを構築できます。半導体、医療機器、印刷、洗浄などのプロセス冷却や、工場・大型施設へ冷水を供給したい場合に向いています。

ダイキン工業の会社概要

会社名ダイキン工業株式会社
主な対応領域工場、データセンター、大型施設、半導体・医療・印刷プロセス
公式URLhttps://www.ac.daikin.co.jp/central/chiller

三菱電機

空冷・水冷モジュールと産業用チリングユニットを展開

三菱電機は、セントラル空調・産業用として、空冷式・水冷式モジュールチラーや産業用チリングユニットを展開しています。ブラインクーラーやファンコイルを含む製品群があり、施設空調と工業用冷却の双方に対応しています。個別装置の付帯チラーではなく、建物や工場の熱源設備として冷水系統を計画したい企業向けです。

三菱電機の会社概要

会社名三菱電機株式会社
主な対応領域セントラル空調、工場、産業プロセス、ブライン冷却
公式URLhttps://www.mitsubishielectric.co.jp/ldm/central-chiller/

チラー装置メーカーの選び方

必要な冷却能力を発熱量から求める

冷却能力は、装置の消費電力だけで決めず、循環液の流量と入口・出口温度差、加工時の発熱、周囲からの入熱、配管損失、立ち上げ時間を含めて算定します。発熱が周期的に変動する場合は、平均負荷だけでなくピーク負荷と継続時間も共有してください。

空冷式と水冷式を設置条件で選ぶ

放熱方式特徴確認項目
空冷式ファンで外気へ排熱し、放熱水設備を必要としない周囲温度、室内排熱、換気、騒音、屋内外設置
水冷式工場の冷却水へ排熱し、室内への排熱を抑えられる放熱水温度・流量・水質、配管、冷却塔、停止時対応

設定温度と温度安定性を分けて確認する

設定できる温度範囲と、運転中の温度変動幅は別の仕様です。加工精度や計測値へ影響する場合は、定常時だけでなく、負荷変動、流量変動、周囲温度変化、装置起動直後の応答も確認します。冷却だけでなく加温が必要かも選定条件になります。

循環液・接液材・水質を確認する

清水、純水、エチレングリコール水溶液、フッ素系流体、薬液、オイルでは、使用できるポンプ、配管、シール、熱交換器が異なります。半導体・電子用途では、銅イオン、腐食、電気伝導度、パーティクルなどの制約もメーカーへ共有してください。

流量・揚程と配管抵抗を合わせる

チラーのポンプ能力が足りないと、必要な冷却能力があっても対象装置へ循環液を供給できません。配管長、内径、高低差、継手、バルブ、フィルター、装置内部流路の圧力損失を含めて必要流量と揚程を確認します。

設置場所の排熱・電源・騒音を確認する

空冷チラーを室内へ設置すると、除去した熱と機器の消費電力が室内へ排出されます。設置スペースだけでなく、吸排気距離、換気、周囲温度、湿度、粉じん、屋外仕様、電源、ドレン、搬入・保守スペースを確認してください。

大型設備は部分負荷と冗長構成で比較する

工場全体へ冷水を供給する場合は、定格効率だけでなく、季節や稼働率による部分負荷、台数制御、ローテーション、故障時のバックアップ、ポンプ・冷却塔を含むシステム効率を比較します。生産停止の影響が大きい場合は、保守時も必要能力を維持できる構成を検討します。

冷媒と保守体制を確認する

冷媒の種類、補充・回収、点検、部品供給、代替機、出張対応、リモート監視の範囲を確認します。適用される管理・点検要件は機種や設備条件で異なるため、導入時点の仕様書とメーカー案内に基づいて判断してください。

用途別にチラー装置を選ぶポイント

用途重視する項目メーカーへ伝える条件
半導体製造装置温度安定性、純水・薬液、接液材、規格、保守拠点プロセス、流体、温度、汚染制約、設置国
レーザー・工作機械負荷変動追従、複数温度、振動、排熱、通信発振器・主軸の発熱、運転パターン、必要精度
研究・分析温度範囲、小型性、低騒音、外部循環、操作性接続機器、必要液量、流量、使用時間、設置環境
工場セントラル大容量、部分負荷効率、冗長性、台数制御、保守年間負荷、必要冷水温度、設備停止条件、将来増設

見積もり前に整理するチラー装置の仕様

  • 冷却対象、用途、発熱量、ピーク負荷、運転時間
  • 循環液の入口・出口温度、設定温度、許容変動
  • 循環液の種類、濃度、水質、接液材の制約
  • 必要流量、揚程、装置・配管の圧力損失
  • 空冷・水冷、放熱水条件、室内排熱、換気
  • タンク容量、ポンプ構成、バイパス、フィルター
  • 設置場所、周囲温湿度、屋内外、粉じん、騒音
  • 電源、通信、遠隔監視、アラーム、上位装置連携
  • 冷媒、使用地域の規格、保守・点検・代替機
  • 搬入経路、配管工事、試運転、検収条件、希望納期

チラー装置導入の流れ

  1. 冷却対象と温度変動による品質・停止リスクを整理する
  2. 発熱量、設定温度、流量、循環液、設置条件をまとめる
  3. 小型精密・研究用・設備用のどのカテゴリかを決める
  4. 同じ条件で複数メーカーへ選定・見積もりを依頼する
  5. 能力線図、ポンプ性能、部分負荷、排熱、保守を比較する
  6. 配管・電源・換気工事と責任範囲を決める
  7. 試運転で温度、流量、警報、通信、負荷変動を確認する

チラー装置に関するFAQ

冷却能力はどの程度の余裕を持たせるべきですか?

一律の余裕率ではなく、発熱量の算定精度、ピーク負荷、周囲温度、経年変化、将来増設を踏まえて決めます。能力を大きくしすぎると、設置・電源・運用コストや制御性へ影響する場合があるため、メーカーの選定条件と能力線図で確認してください。

空冷式と水冷式はどちらが省エネですか?

チラー単体だけでは判断できません。空冷式は放熱水設備が不要ですが室内排熱が発生し、水冷式は放熱水ポンプや冷却塔を含む設備が必要です。年間の外気・水温、負荷、運転時間、付帯設備の消費電力まで含めて比較します。

チラーとオイルクーラーは同じですか?

温調する液体と用途が異なります。一般的なチラーは水や不凍液などを循環させ、オイルクーラーは工作機械の作動油・潤滑油などを冷却します。油の粘度、流量、汚染、圧力条件に対応した専用機を選んでください。

既存チラーを更新するときに必要な情報は何ですか?

既存型式、冷却能力、設定温度、流量・揚程、循環液、配管口径、電源、外形寸法、警報・通信、運転履歴を整理します。単純な後継機確認だけでなく、現在の負荷と配管条件を測定すると、過不足のある仕様を見直せます。

チラー装置メーカーがWebで見込み顧客に選ばれるには

チラーは、冷却能力や温度範囲だけでは適合性を判断できない技術商材です。用途、負荷変動、循環液、流量、接液材、設置環境、規格、保守まで、発注担当者が選定する順番で技術情報を示す必要があります。

Zenken株式会社では、顧客ニーズ、競合が応えきれていない価値、自社技術を重ねて選ばれる理由を言語化し、専門メディア、記事、LP、資料、問い合わせフォーム、営業接点まで設計しています。展示会や既存取引だけに依存せず、仕様の合う見込み顧客からの相談を増やしたいチラー・冷熱設備メーカーはご相談ください。

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チラー装置メーカーのまとめ

チラー装置メーカーを比較するときは、最初に小型・精密、研究用、半導体向け、設備用のどのカテゴリかを分けます。そのうえで、冷却能力、設定温度、温度安定性、循環液、流量・揚程、放熱方式、設置環境、保守体制を同じ条件で確認してください。

カタログの定格値だけで決めず、実際の負荷変動、周囲温度、配管抵抗を反映した選定が重要です。既存設備の更新では運転データも共有し、必要に応じて導入前テストや負荷試験を行いましょう。

免責事項

掲載内容は2026年7月12日時点で確認した各社公式サイトの情報をもとにしています。温度範囲、冷却能力、精度、循環液、冷媒、規格、保守内容は変更される場合があります。詳細は各社公式サイトまたは問い合わせで確認してください。